库号:M3617364 品牌/制造商: 美国INFICON 英福康 型号:CrystalSix
产品名称:INFICONCrystalSix传感器(750-446-G1)
品牌:美国INFICON
产地:美国
型号:750-446-G1
CrystalSix传感器美国INFICON英福康750-446-G1的介绍:
INFICON CrystalSix 晶体对于要求连续监控速率的长时间过程非常重要。CrystalSix 传感器在一个传感器头中含有 6 颗石英监控器晶体,为 OLED、MBE、太阳能、长时间光学镀膜或其他需要长时间腔室排气的过程提供安全性。与 INFICON 薄膜沉积监控器结合使用时,CrystalSix 在当前晶体失效或不稳定的情况下,会自动将新的晶体转动到适当的位置。晶体更换是自动完成的,不会中断您的过程,支持持续监控沉积速率。
晶体索引通过气动机制完成。相比同类装置使用的昂贵的真空发热电机,这种气动马达可提供更好的晶体热稳定性。一个 8 英寸的水冷却管保持传感器头的热稳定性,并提供晶体位置的灵活性。
与某些 INFICON 薄膜控制器结合使用时,传感器提供位置反馈,因此可针对特定的材料安排特定的位置。
装有 6 颗晶体,可进行可靠的自动转换,从而**限度延长过程运行时间
晶体转换由空气驱动完成(竞争产品是使用生热电机),因而晶体温度非常稳定
1/8" 管保持热稳定性,并提供传感器放置的灵活性
提供可选晶体闸