2023年3月31日，日本经济产业省公布了《关于根据出口贸易管理令附表**及外汇令附表的规定修改部分规定货物或技术的省令等的修改概要》的文件。
根据外汇及外国贸易法(外汇法)对货物等省令进行了修改，****措施的重点是先进半导体制造设备，制造芯片所需的极紫外(EUV)设备也被列入其中。这23项包括：3项清洗设备、11项薄膜沉积设备、1项热处理设备、4项光刻/曝光设备、3项刻蚀设备、1项测试设备。
日本方面在记者招待会上说该法案并非针对特定国家的限制，也不代表追随美国政府的限制法规，但这个说法似乎得不到行业相关人士的认同。经产省虽未将特定的国家和地区指定为限制对象，但是追加的23个品种除了面向42个友好国家和地区以外，其他均需个别许可，即实际上对不包含在其中的中国的出口是极其困难的。
据悉，这项将于7月生效的出口限制可能会影响到十几家日本公司生产的设备，例如两家核心设备供应商尼康(Nikon)和东京电子(TEL)，前者是全球第二大DUV光刻机制造商，后者控制了全球90%的涂胶显影设备。路透社称，能够制造14/16nm及以下先进芯片的蚀刻机将受到影响。
中国的半导体业界认为，经济产业省此次强化限制，可能会比美国的半导体出口限制更大的打击，有可能强化EUV曝光装置等半导体制造装置的国产化措施。
5月23日，中国商务部就日本的出口限制表示：“这是对出口管制措施的滥用，是对自由贸易和国际经贸规则的严重背离，中方对此坚决反对。”在日方措施公开征求意见期间，中国产业界纷纷向日本政府提交评论意见，多家行业协会公开发表声明反对日方举措，一些日本行业团体和企业也以各种方式表达了对未来不确定性的担忧。但令人遗憾的是，日方公布的措施未回应业界合理诉求，将严重损害中日两国企业利益，严重损害中日经贸合作关系，破坏全球半导体产业格局，冲击业链供应链安全和稳定。
日方应从维护国际经贸规则及中日经贸合作出发，立即纠正错误做法，避免有关举措阻碍两国半导体行业正常合作和发展，切实维护全球半导体产业链供应链稳定。中方将保留采取措施的权利，坚决维护自身合法权益。
