雅马拓洁净厌氧高温气氛炉DTN430C/630C/450C/650C

产品介绍

产品名称：雅马拓洁净厌氧高温气氛炉DTN430C/630C/450C/650C

品牌：雅马拓

产地：中国

型号：DTN430C/630C/450C/650C


洁净厌氧高温气氛炉
DTN430C/630C/450C/650C
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。



特点
**工作温度360℃和500℃。
采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低。
磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。
标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。



安全性
门检测开关
温度过升防止器
氧浓度异常安全装置
氮气压力检测
氮气流量检测
冷却水流量检测
漏水传感器
过电流漏电漏电保护开关


技术规格