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TP-70DGⅡ气体检测仪日本RIKEN理研

TP-70DGⅡ气体检测仪日本RIKEN理研

TP-70DGⅡ气体检测仪日本RIKEN理研
日本RIKEN理研检测器 TP-70DGⅡ用于检测半导体工厂内的C4F6/C5F8/COS,用于对储气瓶存放柜及半导体制造装置进行检测,用于无尘室内的环境监测。
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库号:M74211 品牌/制造商: 型号:TP-70DGⅡ

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产品介绍

产品名称:日本RIKEN理研气体检测仪TP-70DGⅡ
品牌:RIKEN理研
产地:日本
型号:TP-70DGⅡ

日本RIKEN理研气体检测仪TP-70DGⅡ特征:

通过采用含有催化剂的热分解器,实现减少干扰带来的影响
单触式的传感器更换方式
搭载新型智能化传感器
采用易于观察的大型字符LCD
搭载流量自动调整功能

日本RIKEN理研气体检测仪TP-70DGⅡ用途:

用于检测半导体工厂内的C4F6/C5F8/COS
用于对储气瓶存放柜及半导体制造装置进行检测
用于无尘室内的环境监测

日本RIKEN理研气体检测仪TP-70DGⅡ参数:

型号 :TP-70DGⅡ(EA规格)
检测原理 :催化剂+定电位电解式
类型 : TYPE C4F6 TYPE C5F8 TYPE COS
检测对象气体(检测范围):C4F6 (0~5ppm) 
                                            C5F8 (0~5ppm)
                                            COS (0~15ppm)
警报设定值 : C4F6 1st: 2ppm / 2nd: 4ppm
                      C5F8 1st: 2ppm / 2nd: 4ppm
                      COS 1st: 5ppm / 2nd: 10ppm
浓度显示 : 字符编码LCD(数字及光柱表显示)
检测方式 : 泵吸引式·热分解式
吸引流量 :0.5ppm/min±10%
电源显示 : POWER指示灯亮灯(绿色)
各种显示 :气体名显示/流量显示/模式显示/通信状态显示/热分解器连接显示
外部输出 : 气体浓度信号/气体警报接点/故障警报接点
警报精度 : 警报设定值的±30% (同一条件下)
警报延误时间 :给予警报设定值1.6倍的气体后60秒以内 ※配管延误不包含在内(同一条件下)
气体警报显示 : 1st:ALM1指示灯闪烁或亮灯(红色)/ 2nd:ALM2指示灯闪烁或亮灯(红色)
气体警报动作 : 自动复位或自我保持
气体警报接点 :无电压接点各1a或1b(2段独立) 持续不励磁(警报时励磁)或持续励磁(警报时不励磁)
故障警报· 自我诊断 : 系统异常/传感器异常/流量异常/通信异常/热分解器异常
故障警报显示 : FAULT指示灯亮灯(黄色)/ 内容显示
故障警报动作 : 自动复位
故障警报接点 :无电压接点各1a或1b 持续不励磁(警报时励磁)或持续励磁(警报时不励磁)
接点容量 :AC125V·0.25A / DC24V·0.5A(电阻负荷)
接点电缆 :CVV等的电缆(1.25mm2)·**6芯
传送方式 :模拟传送或数字传送
传送规格 :模拟传送:DC4~20mA(非绝缘、负荷电阻300Ω以下)
数字传送:以太网
传送电缆 :模拟传送:CVVS等的屏蔽电缆(1.25mm2)·2芯
数字传送:以太网电缆(5类以上)
各种功能 :白色背光源/警报延误/抑制/零追尾/灵敏度补偿
                 流量控制/校正履历/警报趋势履历/活动履历
初始清除 : 约25秒
配管连接口 : Rc1/4(附0.Dφ6-1t特氟隆管用单头活接头<PP>)
电源(耗电) : AC100V~240V±10% (耗电:150VA以下)
外形尺寸/重量 : 约80(W)×225(H)×285(D)mm(突起部除外)/ 约6.0kg

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