电容式隔膜真空计BCG450美国INFICON英福康

产品介绍

产品名称：INFICON电容式隔膜真空计
品牌：美国INFICON
产地：美国
型号：BCG450

电容式隔膜真空计BCG450美国INFICON英福康的介绍：
INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar（3.75×10-10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。BCG450 的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流 Prani 和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。

电容式隔膜真空计BCG450美国INFICON英福康的好处：

BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性
压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制，可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制
皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
大气气压下压差测量消除了大气压力变化引起的不确定性
传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证再现性
备有可选的图形显示器和现场总线接口
符合 RoHS 标准
 

电容式隔膜真空计BCG450美国INFICON英福康的典型应用：

对半导体过程和预抽真空室的压力测量
工业镀膜
在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制