薄膜沉积控制器GUARDIAN EIES美国INFICON英福康

产品介绍

产品名称：INFICON薄膜沉积控制器(GUARDIAN EIES) 
品牌：美国INFICON
产地：美国
型号：GUARDIAN EIES

薄膜沉积控制器GUARDIAN EIES美国INFICON英福康的介绍：

• 可同时沉积至多八种材料
• CIGS 薄膜的理想之选
• Guardian 可将沉积速度控制在 0.1 到 10,000 Å/s 范围内。它可以操作一个或两个传感器，**多 8 个光输入，并控制**多 8 个沉积源，因此能够同时沉积**多 8 种材料。
• INFICON Guardian 是光伏模块、有机发光二极管、光伏、超导薄膜以及分子束外延制造等应用的理想之选。
• Guardian Codeposition 系统基于电子碰撞发射光谱 (EIES)。利用 EIES，要沉积的材料在热离子发射体的作用下生热，从而产生光子。产生的光通过光滤波器达到光电倍增管 (PMT) 检测器，光电倍增管检测器可以测量所通过波长的发射强度。然后，INFICON Guardian 控制器产生信号来控制该材料源。配备了合适滤光器的其他检测仪可用于多种材料。
• 一套完整的 Guardian 系统至少包括一个传感器、一个 PMT 检测仪、一个滤光器、一个 Guardian 控制器单元以及一台安装了 Guardian 软件的电脑（由用户提供）。EIES 通常用于控制多种材料的沉积，因此，大多数 EIES 系统还包括其他传感器、检测器、光学器件（例如分裂器）以及 QCM，QCM 用于校准或控制某些材料的沉积速率。

要配置 Guardian 共沉积系统，需要考虑以下几点：

沉积材料的初级和二级发射波长为多少？
如果不同材料的峰值过于相近，您可能需要监控二级发射波长，二级波长的信号强度较弱。

在沉积过程中，真空室中存在哪些本底气体？这些本底气体的发射波长是多少？
如果本底气体的发射干扰了沉积材料，则建议使用气体补偿传感器。

对于特定发射光谱的原子种类，EIES **为有效。分子种类产生的发射光谱不稳定或者过宽，无法准确测量。不建议将 EIES 用于有机材料。各个具体应用的** EIES 系统配置由以上因素及其他因素确定。

 

美国INFICON薄膜沉积控制器(GUARDIAN EIES) 功能：

监控和控制多达 8 种材料的同时沉积过程
从 0.1 至 10,000 Å/s 的沉积速率
集成式 EIES 和 QCM 薄膜过程控制
12 个继电器输出和 12 个数字输入
用于设置与操作的基于 Windows 的软件
与 INFICON Sentinel 传感器兼容