用于气体流量测量的热质量流量计
TSI 的热式质量流量计采用的铂金镀膜传感器设计，这种设计适用于要求快速响应、低压损和高精度，流量范围宽的多种气体流量测量的应用。
5000 系列的所有机型都配备了双向流量传感、彩色触屏显示、可选配管端接头和配套的 PC 软件。
高级机型可以将质量流量、绝对压力、温度、体积、压差和湿度测量集成到一台设备中，还提供具有更高流量精度、数据记录或湿度补偿流量测量规格选项的机型。
+ 4 毫秒双向流量响应
+ 高精度（读数的 ±2%，可选读数的 ±1.7% 可选）
+ 低压降使背压**小化
+ 宽广泛的动态工作范围（1000:1 调节比）
+ 多种气体校准，可供用户选择
+ 使用单个仪器的流量，绝对压力，温度，体积，压差和湿度测量多达 6 个参数
+ 温度和压力补偿，可选湿度补偿
+ 2.8 英寸彩色触摸屏操作
+ 可同时显示四个测量参数
+ 可配置管端接头
+ 数据记录（选项）
+ USB 供电和数据通信
+ 包含 NIST 可追溯的校准证书
+ 所有仪表都配有电源，电缆，管端连接器，入口过滤器和FLO-Sight PC 软件随附的
+ 研究人员、工程师、设计师和科学家可将 TSI 气体流量计用于各种应用，如：
— 产品开发
— 制造
— 质量保证
— 研究
— 计量
— 现场服务
5200 系列是 TSI 公司出品的低流量热式质量流量计。此流量计对小于 1 L/min 的流速提供更
高的分辨率和精度。5200 系列流体的内部容积减小了，**大程度地减少回路死区，并提供
高度精确的容积测量。TSI 的低流量计被用作流量参考值，用于校准采样仪器以及许多其他
低流量应用。
流量测量
气体 ：空气、O2、CO2、N2*
校准 ：（用户可选）
测量范围： 0 至 ±30 Std L/min
精确度（按型号）：
5200, 5210,5220 正向气流：读数的 2% 或0.005 L/min；反向气流：读数的 3% 或 0.01 L/min
5230 正向气流：读数的 1.7% 或0.005 L/min；反向气流：读数的 3% 或 0.01 L/min
5203 读数的 3% 或 0.01 L/min，以较大值为准
响应时间： 4 毫秒到满量程的 63%
单位 ：L/min 或 ft3/min（标准、体积、实际或远程）
体积测量
测量范围： 0.002 至 99 L
精确度： 读数的 2% 或 1 mL，以较大值为准，峰值流量大于0.25 Std L/min
单位 ：L, mL, ft3
*氮气是空气校准中的校正
温度测量
测量范围 ：-10 至 50°C
精确度： 流量 > 1 Std L/min 时为 ±1°C（仅正向气流）
响应时间 ：<= 75 ms 至**终值的 63%（阶跃变化）
单位 ：°C, °F
绝对压力测量
测量范围 ：50 至 200 kPa
精确度 ：±1 kPa
响应时间 ：<= 4 ms 至**终值的 63%（阶跃变化）
单位 ：Pa, hPa, kPa, mbar, PSI, mmHG, cmH2O, inH2O
低差/呼吸回路压力测量
测量范围 ：±150 cmH2O
精确度 ：读数的 ±0.5% 或 0.15 cmH2O，以较大值为准
响应时间： <= 4 ms 至**终值的 63%（阶跃变化）
单位 ：Pa, hPa, kPa, mbar, PSI, mmHG, cmH2O, inH2O
相对湿度测量
测量范围 ：10 至 90% RH
精确度 ：RH 的 ±3%
响应时间： <= 3 s 至**终值的 63%（阶跃变化）
单位： % RH、露点温度 (°C、°F)
累加器测量
测量范围： 0.05 至 400,000 L
精确度 ：读数的 ±4%
单位 ：L, mL, ft3
仪器温度范围
操作 ：-10 至 50°C（环境）
储存 ：-20 至 70°C（环境）
仪器使用压力范围
操作 ：50 至 200 kPa
电源
通过 USB-C 端口供电
5.0 VDC ±5%，**大电流 500 ma
破裂压力
测试加压到 690 kPa，仪器没有破裂。请不要超过 690 kPa。
数字量输出
USB，RS-232 串行，使用可选的 USB-A 至 RS232 转换器电缆
显示
2.8 英寸彩色 LCD 触摸屏
内部存储器
1 GB 存储空间，**多可存储 20 个数据记录文件
物理尺寸
重量 ：230 克，含管端保护帽
材质 ：聚碳酸酯（主机）
注释：
1. 为保证流量测量的精确度，仪器需在 15 至 25°C 之间，处于 101.3 kPa 之下工作。
+ 在 15 至 25°C 的基本工作范围之外，每 1°C 还要增加 0.085% 的读数。
+ 在 50 kPa 至 200 kPa 的基本工作范围之外，在 101.3 kPa 以上，每 1 kPa 还要增加0.01% 的读数，
+ 在 101.3 kPa 以下，每 1 kPa 还要增加 0.02% 的读数。
2. 流量精度是气体温度和主机温度之间的温差在 ±10°C 以内。
3. 流量精度是针对干燥气体（低于 10% R.H）。对于没有进行湿度补偿的机型，每 10% RH 增加 ±1.0% 的读数。
4. 从高到低的反向流量突变可能需要额外的稳定时间来实现完全的准确。
5. 从高到低的反向流量突变可能需要额外的稳定时间来实现完全的准确。
6. 体积流量是根据质量流量计算的。考虑到测量气体温度和压力时的不确定性，需在流量精度上增加 0.25% 的读数。
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